跟投之家超400笔投资，VC跨越山海关

　　来源：投中网跟投之家

　　在海光信息发起对中科曙光的收购之后，一笔31亿的“A吃A”并购，又在市场中激起波澜——6月24日，北方华创宣布已经成为芯源微第一大股东，并取得芯源微的控制权。

　　早在今年3月，北方华创就与芯源微的两大股东——沈阳先进制造技术产业有限公司、沈阳中科天盛自动化技术有限公司，签署了股份转让协议，受让二者持有的1906.4915万股、1689.975万股股份。

　　两次交易金额分别为16.87亿元和14.48亿元，北方华创合计耗资31.35亿元拿下了17.87%的股权（3596.47万股股份），正式入主芯源微。

　　这笔交易能够引起市场关注，与双方的市场地位不无关系。北方华创不必多说了，它是我国半导体设备龙头，市值达2300多亿。2024年公司创下了业绩新高：营收近300亿元，同比增长35.14%，净利润56.21亿元，同比增长44.17%。一举夺得全球半导体设备厂商第六的名次，也是唯一进入前十的中国厂商。

　　相比而言，芯源微就要低调得多。虽然只有200亿市值，但它却是国内唯一可提供量产型中高端涂胶显影设备的企业，也是单片式湿法设备龙头公司。

　　这两家公司联姻，可以在产品、研发和供应链等多个领域发挥乘数效应。不仅提升企业竞争力，也提升我国半导体设备的整体实力。于企业、于股东、于产业都是一件共赢的事。

　　不过在交易之外，被称为“辽宁省科创板第一股”的芯源微还有两处细节引起了我们关注：

　　第一，芯源微大股东“中科天盛”，是中科院沈阳自动化研究所100%控股的公司。沈自所不仅创立了芯源微，更是辽宁省多家上市公司和科技企业的发起人，堪称辽宁科创的摇篮之一。

　　第二，辽宁省的国资机构对芯源微一直鼎力支持，而且有机构在这一项目上赚到约40倍收益，是东北地区科创孵化的经典案例之一。

　　——这两条线索，为我们打开了了解辽宁科创生态的窗口。

　　数据显示，2020年-2025年上半年，辽宁一共发生了418笔投资事件，融资总额约1900亿元。而且在2020年之后，辽宁省企业获投事件数量逐渐增加。国家大基金二期、北京集成电路并购基金、深创投、华映资本等都纷纷奔赴辽宁下注投资。

　　而这“投资越过山海关”的新局面，正是辽宁省的科研中心、先进制造产业集群和不断壮大的国资基金体系共同推动的。

　　芯源微的故事：科研机构联手国资

　　故事还是从芯源微讲起。

　　2000年初，我国半导体装备产业还是一片空白。服务于国家重大战略的中科院沈阳自动化研究所（简称“沈自所”）决定进入这一领域，突破卡脖子问题。当时沈自所受限于匮乏的技术积累，采取了引进韩国技术，快速切入半导体装备领域的做法。于是在2002年，联合韩国STL公司，以中方持股71.43%，韩方持股28.57%的模式，共同设立了芯源微。

　　执掌芯源微23年的董事长宗润福就是沈自所的科研人员。1988年，宗润福在哈工大硕士毕业后到沈自所就职，历任研究员、室主任、科技处长。2002年12月他作为自动化所的投资方代表，担任芯源微董事长、总经理。

　　在早期跟投之家，芯源微的发展是建立在沈自所的鼎力支持上的。

　　一方面是沈自所持续不断地提供科研支持。芯源微才在其帮助下，于2005年突破8英寸凸点封装设备技术，2007年推出国内首台12英寸先进封装涂胶显影机，打破日本东京电子（TEL）垄断，逐步在LED和封装领域打开市场。

　　另一方面，沈自所利用中科院的资源推动芯源微承担了多项国家重大科技专项。比如，2008 年芯源微获批承担国家“十一五”《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》专项中的“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目。这是该重大专项支持的唯一家国产涂胶显影设备企业，为芯源微成为全国中高端涂胶显影设备龙头奠定了基础。

　　放在当时，承接科研项目更现实的意义在于，芯源微由此获得了大量的研发经费和补助。这让芯源微顺利度过了入不敷出的创业阶段。

　　宗润福在一次演讲中就回忆说，“2003年到2009年企业年均获得政府各类科技项目经费、人才项目补助约400万元，2010年到2012年，由于承担国家科技重大专项，年均获政府项目拨款约3000万元。”这些支持“缓解企业资金压力，解决了企业研发经费不足、自我供血能力不足的问题。”

　　可见没有沈自所的强力支持，从0到1的芯源微要在残酷的市场中存活下来会异常艰难。

　　而且沈自所将自身定位为企业的“推动者”，而非“主导者”。在2013年芯源微扭亏为盈后，沈自所逐步降低持股比例，退居幕后，让芯源微以更市场化的方式发展。

　　2018 年，芯源微出厂验证第一台前道涂胶显影机，成功切入前道市场，正式成为半导体领域的核心装备供应商。2019年又成为辽宁省第一家科创板上市公司。

　　这次北方华创的完成收购，入主芯源微，意味着这家23年的辽宁企业进入一个新阶段。而当初沈自所为了解决半导体重要设备卡脖子的问题，推动科技成果转化的目的也早已经完成。

　　在沈自所的加持下，芯源微先后吸引了不少国有投资机构注资。

　　公开资料显示，2007年，辽宁科发实业参与了芯源微的A轮融资，是除沈自所外最早的投资人之一。这家公司实控人为辽宁省国资委，是辽宁国资体系下的投资平台。在2007年出资后，科发实业一路陪伴，到目前依然持有10.59%的股份，是仅次于北方华创的第二大股东。

　　除了科发实业外，辽宁最早的风险投资机构——沈阳科技风投也是芯源微的重要投资人。据和君集团对芯源微的研究报告披露，2015年，国科投资、国科瑞祺、沈阳科投、国科正道四家机构向芯源微投资4296万元，其中，沈阳科技风投出资了500万元。

　　目前工商信息显示，沈阳科技风投已经实现退出。官方并未披露这笔投资到底赚了多少钱。但根据和君咨询估算，投资时企业估值约1.93亿元，到2021年末“沈阳科投持有的这部分股份市值约2.5亿元，六年时间增值达50倍。”

　　盛京金控的公众号文章部分印证了上述推断，它写道“（科技风投）投资的芯源微、拓荆科技实现国有资本增值30-40倍。”不论是30倍，还是40倍，亦或50倍，这笔投资的收益肯定非常可观。它应该是东北地区国资机构投资退出的重要案例了。

　　向先进制造业跃迁的产业生态

　　芯源微的故事只是辽宁创投生态的一节片段。在片段之外，还有更难广阔的全景图。

　　先回到沈自所。1972年，时任沈自所所长的蒋新松院士，起草了一份“关于人工智能及机器人”的报告呈给中国科学院。后来这份报告推动机器人研究被列入《1978—1985年全国科学技术发展规划纲要》。在他的带领下，沈自所研发了示教再现工业机器人，标志着国工业机器人事业的开端。

　　1987年跟投之家，中国科学院、国家科委在沈自所设立“863”计划智能机器人办公室。之后，沈自所便成为了我国工业机器人的摇篮。

　　这段科研故事在上世纪90年代末期开始向产业端演化。

　　2000年，沈自所以蒋新松院士的名字命名，成立了新松机器人，是我国最早从事工业机器人研发的企业。它率先推出全国首台真空洁净机器人、首套汽车合装移动机器人等产品，快速打破了国外企业的垄断。

　　2009年，新松机器人在创业板顺利上市，创造了“辽宁创业板第一股”的传奇。目前这家公司的产品已销往40多个国家和地区，其工业机器人不仅服务于通用、福特等国际巨头，在新加坡港口等全球枢纽中也运行着大量新松移动机器人。

　　除了芯源微和新松机器人，沈自所先后参与设立10余家科技公司。

　　2000年，推动成立了制氧机等医疗器械研发公司新松医疗；2003年，创立工业物联网公司中科博微；2013年创立了物联网设备公司中科奥维；2017年成立沈阳智能机器人研究院；2018年创立商业航天公司中科新宇空间智能装备公司……说它是辽宁科技创新的摇篮，实至名归。

　　而且这些企业不断壮大，还吸引了一大批产业链的公司向辽宁聚集。

　　比如芯源微上市之后，神工股份、拓荆科技、富创精密、连城数控这4家半导体设备公司陆续上市，让辽宁的半导体设备产业初具规模。新松机器人则吸引了现代辅机、四达高技术、光洋科技、沈阳通用机器人等一批配套企业落地，让辽宁成为机器人产业高地。

　　最近两年，半导体装备和机器人产业已经是辽宁产业转型升级、新旧动能转换的标杆产业了。沈阳机器人与装备制造集群，也成为了辽宁省第一个国家级产业集群。

　　值得一提的是，在辽宁有众多像沈自所这样的科研中心。中国科学院沈阳分院在辽宁就有大连化学物理研究所、金属研究所、沈阳应用生态研究所、沈阳自动化研究所等4个研究所，以及沈阳计算技术研究所有限公司、中科仪等2个整体转制公司。军工航天领域，在沈阳还有601所、606所、通航研究院等骨干研发机构。而且辽宁省还在持续扩大科研机构的建设，2024年辽宁围绕重点产业新建了20个重点实验室群，聚焦未来产业组建9家省基础科学中心，实施研究项目880个。

　　另外，辽宁省拥有雄厚的制造业基础。特别是装备制造、航天军工、石油化工等领域在全国执牛耳。去年辽宁新增加三个国家级先进制造业产业集群，分别是“沈阳航空集群”，以沈阳和大连两座城市为核心的“沈大工业母机集群”，以大连和盘锦为核心的“大盘绿色石化集群”。它们标志着“共和国长子“正从传统制造业向先进制造业跃迁。

　　这一过程必然带来大量创新创业的机会。2025年辽宁省政府工作报告中就披露了一组数据：2024年辽宁新增科技型中小企业6206家、高新技术企业1625家、“雏鹰”“瞪羚“企业940家，融科储能、东软睿驰两家企业新晋为独角兽企业。

　　所以，以科研中心为代表的创新策源地，和以产业集群为代表的土壤生态，共同为辽宁科创企业提供了生长环境。

　　超400笔投资，全国VC投向辽宁

　　这些企业的诞生与崛起，自然也少不了资本助力。正如沈阳科技风投支持芯源微一样，辽宁的国资机构，对当地创投生态提供了重要的“燃料”。

　　先看市一级的机构。沈阳、大连是辽宁创投最活跃的两座城市。就以沈阳为例，2017年，沈阳设立了沈阳盛京金控投资集团，股权投资就是主要的业务板块之一。据官方网站披露的数据，盛京金控已经构建了“市投资基金、天使基金、市场化基金”三支百亿规模的母基金。通过这三支百亿母基金和自有资金，累计投资了230余个项目，投资总额220余亿。

　　沈阳科技风投就是盛京金控旗下单位。它管理着天使投资母基金，是当地早期投资的重要推手。在今年上半年，华德海泰电器、恒久安泰、康奉堡等多家企业都获得沈阳科技风投的支持。

　　100亿元的沈阳市投资基金，则由盛京资本负责运营管理。官方信息显示，截至目前，市投资基金已累计开展基金项目20余个，项目总规模120余亿元。

　　100亿元的市场化母基金（盛京投资基金）由恒信安泰负责运营管理，目前已受托和发起的母子基金总规模超百亿，母子基金投资规模数十亿，母子基金投资和招引项目超100个。

　　再看省一级。2021年12月，辽宁金控集团设立了辽宁基金投资公司。随后经过1年的筹备，在2022年11月官宣发布了规模200亿元的辽宁产业投资基金。该基金被视为助力辽宁振兴发展的资本引擎。

　　不完全统计，辽宁基金已经出资了26支子基金。引起市场轰动的是去年9月份，官宣与招商局集团、中国诚通、中国国新、光大控股四家央企，合作设立的4支产业投资基金，总规模达100亿元。当时辽宁基金对外披露说，这四只产业基金的投资方向，涵盖全省4个万亿级产业基地和22个重点产业集群。标志着辽宁央地合作母、子基金产业化协同投资集群初步形成。

　　上述省市级国资基金体系，大大推动了辽宁科创投资。

　　据CVSource投中数据显示，2020年-2025年上半年，辽宁一共发生了418笔投资事件，融资总额近1900亿元。而且在2020年之后，辽宁省企业获投事件数量逐渐增加。2020年辽宁有71笔股权投资，2022年有75笔，2023年有82笔，2024年有86笔。这种上升趋势在2025年还在延续。

　　而且外地资本投向辽宁省项目的案例也在增多。有两个案例让我印象深刻。

　　一个是新松机器人旗下的新松半导体。这家公司成立于2023年，专注于半导体晶圆传输专用设备的研发。去年公司完成第一轮融资，吸引了北京集成电路并购基金、国家大基金二期、上海金浦投资、中微半导体、沈阳市科技成果转化基金等机构的投资。是辽宁半导体设备领域的一颗新星。

　　另一家是国瑞新材。这家公司不在沈阳也不在大连，而是位于抚顺市新宾满族自治县。你很难想象一群知名投资机构，到东北如此偏远的县城去投资。但是这一幕确实发生了——深创投、华映资本、国泰君安创新投、众行资本、梧桐树资本等机构，在今年5月份披露了对这家公司的投资。

　　后来我查阅了这家公司的产品和业务情况，就不再感到意外了：它生产的等静压石墨，已经累计向上百家光伏客户完成产品销售，产品直接或间接被隆基、中环、晶澳、协鑫等国内光伏龙头企业使用。而且还实现了“卡脖子”材料核纯级石墨技术突破，推动了核电领域高温气冷堆产业链的自主可控。目前公司已经通过中核集团产品验证，成为其核心供应商。

　　不论是新松半导体还是国瑞新材，都代表了辽宁科创的新势力。“投资不过山海关”的偏见，可能即将被辽宁蓬勃的创投生态打破。